- фотохимическое осаждение из паровой фазы
- 1) Engineering: (газовой) photochemical vapor deposition, photochemical vapor deposition2) Microelectronics: optical cvd
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.